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開催日 2020/06/24 (水) 開催地 東京都

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【Webセミナー対応】

半導体デバイスにおける洗浄技術の基礎と歩留改善のための 効果的な汚染制御技術

主催 サイエンス&テクノロジー株式会社 講師 白水 好美 氏 受講料 44,000円   

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なぜ半導体洗浄が製品の信頼性関わる歩留に影響してくるのか・・・
洗浄技術の基礎から歩留改善のための技術について経験豊富な講師がわかりやすく解説します
また次世代の汚染制御・洗浄乾燥技術についても言及!

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

 半導体製造において、各種汚染は歩留低下を引き起こします。序論として汚染が半導体デバイスにおよぼす影響を示し、それを踏まえて、半導体洗浄に関して説明します。従来の洗浄から最近の洗浄、目的別洗浄について詳細を説明します。洗浄以外の汚染制御技術に関しても紹介します。最後に次世代の汚染制御の問題点と洗浄乾燥技術について解説します。

半導体製造における汚染制御と歩留改善に洗浄技術が重要であることが理解できる
最新の洗浄液技術を習得できます

セミナーの対象者はこんな方です

研究開発および製造業務にたずさわっている中堅、若手や新人の方対象です
※特に予備知識は必要ありません。基礎から解説いたします

このセミナーは【会場での受講】の他に、【WEBセミナー(アーカイブ:撮影した動画)】でのご受講が可能です。
※WEBセミナーは、セミナー終了10日後を目途に、10日間・動画をご視聴いただけます。
開催日時 2020/06/24 (水)     13:00~ 16:30     (受付  12:30 ~ )

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申込み期間  ~ 2020/06/23
主催会社 サイエンス&テクノロジー株式会社
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定員 30名
受講料 44,000円
開講場所 ・会場名: 東京・港区浜松町 芝エクセレントビル B1F KCDホール
・住所: 〒105-0013 東京都港区浜松町2-1-13 芝エクセレントビル B1F 
・交通アクセス: 都営地下鉄 大江戸線・都営浅草線「大門駅」(A1出口)より徒歩2分
講師
白水 好美 氏 講師写真

白水 好美 氏

オフィスシラミズ 室長

カリキュラム、
プログラム
1.序論-汚染が半導体デバイスに与える影響
 1-0 クリーン化の重要性
 1-1 金属汚染(Fe, Cu等)およびナノパーティクル
 1-2 分子汚染(NH3, アミン, 有機物, 酸性成分)
 1-3 各種汚染の分析解析方法及びモニタリング技術

2.洗浄技術
 2-1 RCA洗浄
 2-2 各種洗浄液と洗浄メカニズム-薬液系洗浄 vs. 純水系洗浄
 2-3 洗浄プロセスの動向
 2-4 最先端の洗浄技術とその問題点

3.その他の汚染制御技術
 3-1 工場設計
 3-2 ウェーハ保管、移送方法

4.次世代の汚染制御の問題点と今後の課題
 4-1 新洗浄乾燥技術(SCCO2洗浄乾燥, PK剤乾燥)
 4-2 次世代の洗浄、汚染制御の問題点と今後の課題 

  □質疑応答・名刺交換□
特典 セミナー資料付き。

【テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
 1名申込みの場合:受講料( 定価:35,200円/S&T会員 33,440円 )
  35,200円 ( S&T会員受講料 33,440円 )
   定価:本体32,000円+税3,200円
   会員:本体30,400円+税3,040円
 ※1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
 ※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。
 ※他の割引は併用できません。

飲み物付き 飲み物付き 
セミナー参加費
支払い方法
○ お支払方法

(1)銀行振込、または(2)当日会場での現金払い

 ※原則として受講料のご入金は、開催日までにお願いいたします。

 ※原則として銀行振込の場合、領収証の発行はいたしません。

 ※銀行振込の場合、手数料はご負担ください。



○ キャンセルについて

お申込み後、ご都合が悪くなった場合は代理の方のご出席も可能です。

やむなくキャンセルされる場合は、下記のキャンセル規定で承ります。

◇キャンセル規定◇

開催日から逆算(営業日:土日・祝祭日等を除く)いたしまして、

・開催7日前以
お知らせ ※各種割引特典がございます。

【2名同時申込みで1名分無料(1名あたり定価半額の22000円)】
  ※2名様ともS&T会員登録をしていただいた場合に限ります。
  ※同一法人内による2名同時申込みのみ適用いたします。
  ※3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で受講できます。
  ※受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  ※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    (申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
  ※他の割引は併用できません。


【アカデミー割引】
学生・教員および医療従事者は、1名につき11,000円/日
 (※他の割引との併用はできません。)

【お申込み時の注意】
 BC-Seminarからお申込みされますと、自動返信メールではシステム登録上、
定価が表示されますが、割引価格適用有無の確認のため、自動返信メールとは
別に必ずサイエンス&テクノロジーの事務担当から連絡を行います。
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