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開催日 2020/08/28 (金) 開催地 WEB受講

~ミスト流を利用した注目の機能膜作製手法の現在地と今後の展望~

【Live配信(リアルタイム配信)】ミストCVD技術の開発と今後の可能性

主催 サイエンス&テクノロジー株式会社 講師 川原村 敏幸 氏 受講料 44,000円   

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非真空プロセス、低イニシャルコスト・運用コスト、大面積の膜形成が可能などと言った特徴を持つ薄膜形成技術ミスト化学気相成長法(Mist Chemical Vapor Deposition:Mist CVD)。本セミナーでは、そのミストCVDの概要から作製した膜やデバイスの特性、技術動向、今後の展望まで解説する。

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

 大気圧下で大面積に亘り高品質な機能膜を形成するための技術として開発してきたミストCVDに関して、経緯、歴史、作製膜の特性、デバイス、ミストCVDに関する物理、次世代へ向けた開発の方向性等、詳しく説明します。

・機能膜作製プロセス
・大気圧・非真空プロセス
・溶液プロセス
・ミストCVD
・電子デバイス(ディスプレイ・センサー・スイッチング素子・発光素子・量子素子)
・コーティング(不動態膜・透明導電膜)
・組成制御
・反応工学

セミナーの対象者はこんな方です

本テーマに興味のある方なら、どなたでも受講可能です。

【ZoomによるLive配信】
 ・本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
 ・後日、別途視聴用のURLをメールにてご連絡申し上げます。
 ・セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
 ・セミナー資料は事前にお申し込み時のご住所へ発送させて頂きます。
 ・開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が開講日に間に合わない可能性がありますこと、
   ご了承下さい。Zoom上ではスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
 ・リアルタイムで講師へのご質問も可能です。
  ・タブレットやスマートフォンでも視聴できます。
開催日時 2020/08/28 (金)     12:30~ 16:30     (受付  12:00 ~ )

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申込み期間  ~ 2020/08/27
主催会社 サイエンス&テクノロジー株式会社
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定員 30名
受講料 44,000円
開講場所 ・会場名: Live配信セミナー ※会社・自宅にいながら学習可能です※
・住所:  ※会社・自宅にいながら学習可能です※  
・交通アクセス: 
講師
川原村 敏幸 氏 講師写真

川原村 敏幸 氏

高知工科大学 システム工学群 教授

カリキュラム、
プログラム
第1部 ミストCVD技術の開発初期
1.緒言
 1.1 自己紹介
 1.2 高知工科大学について
 1.3 高知工科大学 総合研究所について

2.機能膜作製技術の現状とこれからの開発ポイント
 2.1 どういった物に利用されているのか
 2.2 それらを作製するシステムの大きさやコストについて
 2.3 省エネプロセスの必要性とそれが達成されない理由
 2.4 大気圧下で対象とする機能膜を形成する為のポイント

3.ミストを利用した機能膜形成技術「ミストCVD」の特徴
 3.1 ミスト法とは
 3.2 従来の成膜手法に対するミストCVD法の立場
 3.3 超音波噴霧を利用した機能膜形成技術の歴史

4.原料供給手段に超音波噴霧を利用する利点
 4.1 各種液滴の発生法
 4.2 一般環境下で薄膜を形成するために適した液滴発生法とは

5.ミスト流を用いた機能膜作製システムの装置群
 5.1 ミスト流を用いた機能膜作製システム
 5.2 原料供給器
 5.3 成膜反応装置周囲の基本システム

6.ミストCVDの物理1
 6.1 均質膜を作製する為の3つの手段
 6.2 液滴のライデンフロスト状態

第2部 ミストCVD技術の応用と発展
7.ファインチャネル(FC)システムvsホットウォール(HW)システム
 7.1 解析構造・条件
 7.2 結果

8.ミストCVDで作製出来る機能膜
 8.1 これまでに形成できた薄膜種
 8.2 酸化亜鉛系(ZnO)
 8.3 酸化ガリウム系(Ga2O3)
 8.4 酸化アルミニウム(AlOx)
 8.5 酸化インジウムガリウム亜鉛(IGZO)
 8.6 有機膜
 8.7 層状硫化モリブデン(MoS2)
 8.8 その他

9.ミストCVDで作製したデバイス
 9.1 大気圧手法により形成された酸化物TFTの現状
 9.2 ミストCVDによるIGZO TFTの作製
 9.3 特性および最適化
 9.4 その他のデバイス(IGZO, Ga2O3, SnO2 MESFET, Organic SC等)

10.ミストCVDによる量子素子の作製とその特徴
 10.1 大気圧下で量子井戸が形成できる理由
 10.2 作製した量子井戸の特徴

11.ミストCVDの物理2
 11.1 ミスト同士は衝突しない
 11.2 複合反応の抑制
 11.3 組成制御技術

12.ミストCVDの物理3
 12.1 反応炉内でのミスト液滴の挙動
 12.3 ミスト流を利用した成膜プロセスにおける反応メカニズム

13.まとめ
 13.1 ミストCVDとこれからのミストCVD
 13.2 ミストCVDの他なる可能性

□ 質疑応答・名刺交換 □
特典 ※【テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
  1名申込みの場合:受講料( 定価:35,200円/S&T会員 33,440円 )
 35,200円 ( S&T会員受講料 33,440円 )
 定価:本体32,000円+税3,200円
 会員:本体30,400円+税3,040円
※1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。
※他の割引は併用できません。

セミナー参加費
支払い方法
○ お支払方法

(1)銀行振込、または(2)当日会場での現金払い

 ※原則として受講料のご入金は、開催日までにお願いいたします。

 ※原則として銀行振込の場合、領収証の発行はいたしません。

 ※銀行振込の場合、手数料はご負担ください。



○ キャンセルについて

お申込み後、ご都合が悪くなった場合は代理の方のご出席も可能です。

やむなくキャンセルされる場合は、下記のキャンセル規定で承ります。

◇キャンセル規定◇

開催日から逆算(営業日:土日・祝祭日等を除く)いたしまして、

・開催7日前以
お知らせ ※各種割引特典がございます。

【2名同時申込みで1名分無料(1名あたり定価半額の22000円)】
  ※2名様ともS&T会員登録をしていただいた場合に限ります。
  ※同一法人内による2名同時申込みのみ適用いたします。
  ※3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で受講できます。
  ※受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  ※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    (申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
  ※他の割引は併用できません。


【アカデミー割引】
学生・教員および医療従事者は、1名につき11,000円/日
 (※他の割引との併用はできません。)

【お申込み時の注意】
 BC-Seminarからお申込みされますと、自動返信メールではシステム登録上、
定価が表示されますが、割引価格適用有無の確認のため、自動返信メールとは
別に必ずサイエンス&テクノロジーの事務担当から連絡を行います。

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