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開催日 2020/11/16 (月) 開催地 東京都

【Webセミナー(アーカイブ配信)】ALE(アトミック レイヤー エッチング)技術の基本原理と最新動向、今後の展望

主催 サイエンス&テクノロジー株式会社 講師 篠田 和典 氏 受講料 44,000円   

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このセミナーは【会場での受講】の他に、【WEBセミナー(アーカイブ:撮影した動画)】でのご受講が可能です。
※WEBセミナーは、セミナー終了10日後を目途に、10日間・動画をご視聴いただけます。

微細化・高精密化への要求が止まらない半導体技術の次なるキー技術であるALE
ALE技術の基礎から各種被膜でのエッチング事例、今後への課題とは・・・
メーカーの研究開発現場に携わる講師がALEの現状をお伝えします!

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

 半導体加工の微細化は原子層レベルに到達しており、3次元構造化と積層化による集積度向上が加速しています。また、ポストスケーリングに向けて、新構造トランジスタや新材料の検討が進んでいます。このため今後の半導体製造では、様々な膜種を原子層レベルの寸法精度でエッチング加工する技術が重要になります。

 そこで本講座では、半導体デバイス製造の動向を紹介した後、従来のドライ/ウェットエッチングの基礎と課題、ALEの基本原理、そして各種材料のALE開発事例までを、メーカの研究開発現場にいる講師が、実経験を交えて分かりやすく解説します。

・半導体デバイス製造の開発動向と先端課題
・ドライ/ウェットエッチングの基礎と各種材料のエッチング
・ALE(アトミック レイヤー エッチング)の原理
・ALEの各種手法、および様々な材料のALE研究開発事例

セミナーの対象者はこんな方です

【WEBセミナー:アーカイブ配信対応セミナー】
 ※お申込み画面では、【会場受講】または【WEBセミナー】のいずれかをご選択いただけます。
 ※【WEBセミナー】の申込み受付の締切日も、会場受講のセミナー開催日までです。ご注意ください。​

【アーカイブ受講】
2020年11月24日(火) ごろ配信予定(視聴期間:配信後10日間)
※会社・自宅にいながら学習可能です※
開催日時 2020/11/16 (月)     13:00~ 16:30     (受付  12:30 ~ )

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申込み期間  ~ 2020/11/15
主催会社 サイエンス&テクノロジー株式会社
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定員 30名
受講料 44,000円
開講場所 ・会場名: 東京・品川区大井町 きゅりあん 5F 第1講習室
・住所: 〒140-0011 東京都品川区東大井5-18-1 
・交通アクセス: 「大井町駅」(中央改札)より徒歩1分
講師
篠田 和典 氏 講師写真

篠田 和典 氏

(株)日立製作所 研究開発グループ 計測・エレクトロニクスイノベーションセンタ
 ナノプロセス研究部主任研究員 

カリキュラム、
プログラム
1. 半導体デバイス製造におけるエッチング
   1) エッチングとは
   2) エッチング工程の種類

2. デバイス動向とエッチングの先端課題
   1) ロジック/メモリーデバイスの動向
   2) エッチングの歴史と先端課題

3. エッチングの基礎
   1) プラズマエッチング 
   2) ウェットエッチング

4. 従来エッチングの課題
   1) 面内分布
   2) エッチング損傷

5. アトミック レイヤー エッチング(ALE)の基礎 
   1) ALEの原理
   2) ALE手法の分類

6. 有機金属錯体反応による等方性ALE
   1) La2O3
   2) Co

7. プラズマアシスト熱サイクルによる等方性ALE
   1) Si3N4
   2) SiO2
   3) TiN
   4) W

8. ハロゲン化とイオン照射による異方性ALE
   1)Si

9. フルオロカーボンアシストによる異方性ALE
   1)Si3N4

10. 今後の課題

  □質疑応答・名刺交換□
特典 【テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
 1名申込みの場合:受講料( 定価:35,200円/S&T会員 33,440円 )
  35,200円 ( S&T会員受講料 33,440円 )
   定価:本体32,000円+税3,200円
   会員:本体30,400円+税3,040円
 ※1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
 ※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。
 ※他の割引は併用できません。

セミナー参加費
支払い方法
○ お支払方法

(1)銀行振込、または(2)当日会場での現金払い

 ※原則として受講料のご入金は、開催日までにお願いいたします。

 ※原則として銀行振込の場合、領収証の発行はいたしません。

 ※銀行振込の場合、手数料はご負担ください。



○ キャンセルについて

お申込み後、ご都合が悪くなった場合は代理の方のご出席も可能です。

やむなくキャンセルされる場合は、下記のキャンセル規定で承ります。

◇キャンセル規定◇

開催日から逆算(営業日:土日・祝祭日等を除く)いたしまして、

・開催7日前以
お知らせ
※各種割引特典がございます。

【2名同時申込みで1名分無料(1名あたり定価半額の24,750円)】
  ※2名様ともS&T会員登録をしていただいた場合に限ります。
  ※同一法人内による2名同時申込みのみ適用いたします。
  ※3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で受講できます。
  ※受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  ※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    (申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
  ※他の割引は併用できません。


【アカデミー割引】
学生・教員および医療従事者は、1名につき11,000円/日
 (※他の割引との併用はできません。)

【お申込み時の注意】
 BC-Seminarからお申込みされますと、自動返信メールではシステム登録上、
定価が表示されますが、割引価格適用有無の確認のため、自動返信メールとは
別に必ずサイエンス&テクノロジーの事務担当から連絡を行います。
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