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開催日 2021/04/28 (水) 開催地 WEB配信型ライブセミナー

【Live配信(リアルタイム配信)】 プラズマエッチングにおける プラズマダメージの発生メカニズムと制御

主催 サイエンス&テクノロジー株式会社 講師 江利口 浩二 氏 受講料 44,000円   

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~3次元構造における新しいプラズマダメージ機構や最新動向についても解説~

歩留まり低下やデバイスの信頼性劣化を引き起こすプラズマダメージ。
その現象を理解し制御するために必要な知識を、最新動向を含めて解説します。

<得られる知識>
・デバイス信頼性を保証するプラズマプロセスの開発に必要な基礎知識
・プロセス開発現場で必要とされる工学・統計学に関する基礎知識

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

 現在、超微細半導体デバイスをはじめ、さまざまなデバイス製造において、プラズマプロセスは重要な役割を担っている。例えば、プラズマエッチングにおいては、想定外のプラズマとデバイス
(固体)との相互作用が、デバイス特性・信頼性へ影響を及ぼす。この現象は、プラズマ誘起ダメージと呼ばれ、製造装置設計、プロセス設計、デバイス設計、回路設計において大きな問題となっている。それら現象の基礎的理解は、研究開発のみならず、生産現場でのプロセス管理においても重要である。しかしながら、一般の専門書だけでは、最先端のプラズマエッチングの実用上の課題であるプラズマ誘起ダメージを把握し、制御することは困難である。
 本講座では、近年重要視されているプラズマエッチングの技術課題として、プラズマ誘起ダメージをとりあげる。近年のデバイスの3次元化に伴う新しいプラズマダメージ形成機構や、デバイス設計に必要なデバイス劣化モデル、材料設計に必要な原子レベルでのプラズマダメージモデル、
およびその制御について最新の発表動向を交えて議論する。

セミナーの対象者はこんな方です

企業などでプラズマエッチングに関する研究開発を始めた方、
プロセス設計に従事されている方,デバイス信頼性評価に従事されている方など。
(主にプロセス・デバイス開発に関連する業務に従事されている方)
予備知識について:大学で理系科目を習得していれば特に問題ありません。
企業,大学での勤務経験をもとに,何が大切か?を伝えたいと思います。

【ZoomによるLive配信】
 ・本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
 ・お申込み受理のご連絡メールに接続テスト用のURLが記されております。
  「Zoom」のインストールができるか、接続できるか等をご確認下さい。
 ・後日、別途視聴用のURLをメールにてご連絡申し上げます。
 ・セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
 ・リアルタイムで講師へのご質問も可能です。
  ・タブレットやスマートフォンでも視聴できます。
開催日時 2021/04/28 (水)     13:00~ 16:30     (受付  12:30 ~ )

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申込み期間 2021/02/16  ~ 2021/04/22
主催会社 サイエンス&テクノロジー株式会社
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定員 30名
受講料 44,000円
開講場所 Live配信セミナー 
※会社・自宅にいながら学習可能です※ 

講師
江利口 浩二 氏 講師写真

江利口 浩二 氏

京都大学 大学院工学研究科 航空宇宙工学専攻 教授 
博士(工学) 

カリキュラム、
プログラム
1.プラズマとは
 1.1 現代社会におけるプラズマ技術の応用例
 1.2 プラズマを理解するためのパラメータ

2.プラズマエッチングとは
 2.1 超微細半導体デバイスの歴史(加工技術を中心に)
 2.2 超微細半導体デバイス製造におけるプラズマエッチングの役割
 2.3 プラズマエッチングの基礎(反応表面の構造について)

3.プラズマエッチングにおける技術課題について
 3.1 加工形状異常に代表される課題例
 3.2 新しい課題~プラズマ誘起ダメージ

4.プラズマ誘起ダメージについて
 4.1 3つのダメージ発生機構
 4.2 プラズマ誘起ダメージによる歩留まり低下とデバイス信頼性劣化
 4.3 イオン衝撃によるプラズマ誘起ダメージモデル
 4.4 デバイス劣化モデル
 4.5 3次元構造における新しいプラズマ誘起ダメージ機構

5.今後の展望~何がわかっていて、何がわからないのか?
 5.1 原子レベルでのプラズマ誘起ダメージの理解に向けて
 5.2 プラズマ誘起ダメージを制御(最適化?)する
 5.3 プラズマ誘起ダメージはどうなるのか?

 □質疑応答□


配布資料:電子媒体(PDFデータ/印刷可)
・弊社HPのマイページよりダウンロードいただきます。
・開催2日前を目安に、ダウンロード可となります。
・ダウンロードには会員登録(無料)が必要となります。
特典 テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
1名申込みの場合:
 受講料( 定価:35,200円/E-mail案内登録価格:33,440円 )
 35,200円 ( E-mail案内登録価格 33,440円 ) 
 定価:本体32,000円+税3,200円
 E-mail案内登録価格:本体30,400円+税3,040円
※1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。
※他の割引は併用できません。

セミナー参加費
支払い方法
 ○ お支払方法

  オンラインセミナーは銀行振込みのみです。

  会場受講できるセミナーは当日現金でも承ります。



 ○ キャンセルについて

  お申込み後、ご都合が悪くなった場合は代理の方のご受講も可能です。

  やむなくキャンセルされる場合は、下記のキャンセル規定にて承ります。

  その他、申込み要領は下記をご参照ください。

  https://www.science-t.com/seminarentryguide/
お知らせ ※各種割引特典がございます。

【2名同時申込みで1名分無料(1名あたり定価半額の24,750円)】
  ※2名様ともS&T会員登録をしていただいた場合に限ります。
  ※同一法人内による2名同時申込みのみ適用いたします。
  ※3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で受講できます。
  ※受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  ※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    (申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
  ※他の割引は併用できません。

【アカデミー割引】
学生・教員および医療従事者は、1名につき11,000円/日
 (※他の割引との併用はできません。)

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追って、お申込み完了メールをお送り致しますので、こちらの到着をもって
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