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開催日 2022/03/23 (水) 開催地 WEB配信型ライブセミナー

~現象・メカニズムを理解し、膜厚ムラに対処する力を養う~

【Live配信(リアルタイム配信)】 液膜の塗布・乾燥プロセスの物理現象と 膜厚ムラの形成メカニズム、回避・抑制指針

主催 サイエンス&テクノロジー株式会社 講師 白鳥 英 氏 受講料 35,200円   

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やっかいな「膜厚ムラ」の回避・抑制に向けて、液膜の流れや溶媒の蒸発特性等の塗布・乾燥の物理現象から、各種膜厚ムラの形成過程や起きている現象、対策方針、分析方法までを詳しく解説します。
膜厚ムラにお悩みの方や、塗布・乾燥の物理現象をより深く理解されたい方など、ぜひこの機会をお役立てください。

◇◆◇◆本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。◇◆◇◆
申込み受理の連絡メールに、視聴用URLに関する連絡事項を記載しております。
※セミナー視聴ページは、マイページからお願いいたします。

【配布資料】
電子媒体(PDFデータ/印刷可)
・弊社HPのマイページよりダウンロードいただきます。
・開催2日前を目安に、ダウンロード可となります。

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

・液膜流れに関わる物理現象の特徴
・液膜の塗布・乾燥プロセスで生じる各種膜厚ムラ
・実験・シミュレーション方法

セミナーの対象者はこんな方です

・メカニズムの理解に基づいて、応用範囲の広い対策方法を検討したい方
・予備知識: 特に必要ないように構成します。
  特典
開催日時 2022/03/23 (水)     13:00~ 16:30     (受付  12:50 ~ )

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申込み期間  ~ 2022/03/22
主催会社 サイエンス&テクノロジー株式会社
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定員 30名
受講料 35,200円 (Live配信/WEBセミナー受講限定)
開講場所 本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
※会社・自宅にいながら受講可能です※ 

講師
白鳥 英 氏 講師写真

白鳥 英 氏

東京都市大学 機械システム工学科 准教授 博士(工学)

専門:流体工学・熱工学

カリキュラム、
プログラム
【セミナー趣旨】
 微細加工プロセスや各種フィルター・保護膜等の作製工程において、液膜の塗布・乾燥プロセスが欠かせないが、その過程で種々の膜厚ムラが発生する。これらの膜厚ムラは、作製する膜の用途によっては製品の寸法精度などの品質に直結する場合があり、これらのムラを回避・抑制する方策が望まれる。
 このセミナーでは、主要な塗布方法であるスピンコート法と加熱乾燥を対象に、代表的な膜厚ムラとして 1)基板端部に生じる隆起、2)基板全面に渡って生じる放射状スジムラに注目して、その形成メカニズムと回避・抑制指針について実験的な観察と理論・数値シミュレーションの両面から解説する。

【セミナー講演内容】
1.塗布乾燥工程の概要
 1.1 関連する産業分野と塗布方式
 1.2 関与する物理現象、種々の膜厚ムラ

2.液膜内の熱流動に関する物理
 2.1 液膜流れ
  2.1.1 表面張力と重力の影響
  2.1.2 遠心力の影響
  2.1.3 マランゴニ効果
  2.1.4 液膜に生じた膜厚不均一の緩和挙動
 2.2 熱物質輸送
  2.2.1 加熱乾燥と熱伝導
  2.2.2 樹脂と溶媒の相互拡散
  2.2.3 溶媒の蒸発特性

3.各種膜厚ムラの形成過程と回避・抑制指針
 3.1 基板端部の隆起
  3.1.1 発生するムラの特徴:実験的な観察結果から
  3.1.2 何が起きているのか:背景物理の理解と数値シミュレーション
  3.1.3 対策方針
 3.2 放射状スジムラ
  3.2.1 発生するムラの特徴:実験的な観察結果から
  3.2.2 何が起きているのか:背景物理の理解と数値シミュレーション
  3.2.3 対策方針

4.膜厚ムラの分析方法
 4.1 膜厚ムラの観察方法
   4.1.1 干渉光学系による膜厚の測定
 4.2 数値シミュレーション方法
   4.2.1 塗布・乾燥プロセスに関与する物性値の種類
   4.2.2 液膜流れの性質を生かした、効率的な計算方法

 □質疑応答□
セミナー参加費
支払い方法
 ○ お支払方法

オンラインセミナーは銀行振込みのみです。

会場受講の場合に限り、会場で現金またはクレジットカードでのお支払いが可能です。

会場でクレジットカード支払いの場合は、通信欄に「会場でカード支払い」をご入力ください。



 ○ キャンセルについて

お申込み後、ご都合が悪くなった場合は代理の方のご受講も可能です。

やむなくキャンセルされる場合は、下記のキャンセル規定にて承ります。

その他、申込み要領は下記をご参照ください。

https://www.science-t.com/seminarentryguide/
お知らせ ※各種割引がございます。併用はできません。

【テレワーク応援キャンペーン】
 受講料 35,200円(税込)(S&TのE-mail案内登録の場合:33,440円(税込))
 ※1名でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。

【2名同時申込みで1名分無料】
 1名あたり定価”44,000円の半額”22,000円(税込)
 ※2名ともS&TのE-mail案内登録が必須で、同一法人内に限ります。
 ※3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で受講できます。

【アカデミー割引】
※学生・教員および医療従事者は、1名につき11,000円/日

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