酸化ガリウムの基板作製技術とパワーデバイスの開発動向、課題【Live配信セミナー】

株式会社　技術情報協会上村崇史氏 &nbs... 55,000円

★エピウエハやデバイスの開発状況、本格普及へ向けた課題と対応策

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

【第1部】
・パワーデバイスの基礎
・デバイス開発に向けた酸化ガリウム材料のメリット、デメリット
・酸化ガリウムデバイスの各種応用について
・酸化ガリウムデバイスのデバイス作製技術について
・酸化ガリウムデバイスのデバイス開発の進展について

【第2部】
・β型酸化ガリウムパワーデバイスの魅力
・β型酸化ガリウムの結晶成長技術開発の最新動向
・β型酸化ガリウムのパワーデバイス開発の最新動向
・β型酸化ガリウムパワーデバイスの作り方
・β型酸化ガリウムの課題とその解決方法

会場

講師

プログラム

特典

お知らせ

開催日時

2023/05/30 (火) 10:30～ 16:15

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申込み期間

～ 2023/05/29

主催会社

株式会社　技術情報協会

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定員

30名

受講料

55,000円 (各種割引については下段「お知らせ」欄をご参照ください）

開講場所

ZOOMを利用したLive配信
会場での講義は行いません　

講師

上村崇史氏: (国研)情報通信研究機構　未来ICT研究所　小金井フロンティア研究センター　グリーンICTデバイス研究室　研究マネージャー

佐々木公平氏: (株)ノベルクリスタルテクノロジー　取締役CTO　第一研究部長

カリキュラム、
プログラム

＜１０：３０～１４：３０＞途中、昼休みを含む
１．酸化ガリウムの薄膜成長、動作原理とデバイス作製技術

喫緊の課題である地球温暖化を防ぐために世界中で低炭素社会実現を目指した取り組みが行われています。エレクトロニクス分野では、電力変換の高効率化が必要不可欠であり、そのためにはシリコンデバイスを超える高性能なパワーデバイスが必須です。日本発のパワーデバイス材料である酸化ガリウムは、その材料特性の持つ利点から炭化ケイ素デバイスや窒化ガリウムデバイスを凌ぐ高効率パワーデバイスの実現が期待されています。また、シリコン同様に融液成長法によりバルク製造が可能なため、安価に大口径単結晶基板を得られる可能性があり、コスト面においても大きなアドバンテージを持つと考えられます。さらに、酸化ガリウムデバイスは、高温、放射線、腐食性ガス環境にも耐えうる物性から極限環境におけるIoTを実現するデバイスとしての応用へも期待されています。
本講演では、パワーデバイスの基礎から酸化ガリウムデバイス作製の要素技術と酸化ガリウムショットキーバリアダイオードとトランジスタ開発の進展について解説します。さらに、酸化ガリウムデバイスのパワーデバイス以外の応用として極限環境デバイスについても紹介します。

１．パワーデバイスとそれを取り巻く背景
　1.1 パワーデバイスの役割
　1.2 なぜワイドバンドギャップ半導体？
　1.3 パワーデバイスの世界市場予測
　1.4 酸化ガリウム（Ga2O3）とその他パワーデバイス材料の比較
　1.5 Ga2O3デバイスの応用分野

２．Ga2O3エピタキシャル薄膜成長技術
　2.1 分子線エピタキシー法（MBE法）
　2.2 ハライド気相成長法（HVPE法）
　2.3 有機金属化学気相成長法（MOCVD法）

３．Ga2O3デバイス作製プロセスと要素技術
　3.1 ショットキーコンタクト
　3.2 イオン注入
　3.3 ドライ、ウェットエッチング
　3.4 ウエハボンディング

４．Ga2O3ショットキーバリアダイオード（SBD）開発
　4.1 SBDとは？
　4.2 Ga2O3 SBD開発の要件
　4.3 Ga2O3 SBDの高耐圧化技術
　4.4 高耐圧Ga2O3 SBD

５．電界効果トランジスタ（MOSFET）
　5.1 MOSFETとは？
　5.2 MOSFET開発の要件

６．横型Ga2O3 MOSFET
　6.1 エンハンスメントモードGa2O3 MOSFET
　6.2 (AlxGa1-x)O3ヘテロ構造 Ga2O3 MOSFET

７．縦型Ga2O3 MOSFET
　7.1 電流アパーチャ構造 Ga2O3 MOSFET
　7.2 エンハンスメントモードGa2O3 MOSFET
　7.3 縦型Ga2O3 MOSFETの既存デバイスに対する優位性

８．極限環境デバイス開発
　8.1 極限環境とは？
　8.2 Ga2O3 MOSFETの高温動作
　8.3 Ga2O3ガンマ線耐性
　8.4 高周波Ga2O3 MOSFET

＜１４：４５～１６：１５＞
２．β型酸化ガリウムの結晶成長とデバイス開発の最新動向

１．ノベルクリスタルテクノロジーの紹介

２．β型酸化ガリウムパワーデバイスの魅力

３．β型酸化ガリウムの結晶成長技術
　3.1 バルク結晶成長技術
　3.2 エピタキシャル成長技術

４．β型酸化ガリウムのパワーデバイス応用
　4.1 ショットキーバリアダイオード
　4.2 トランジスタ

５．β型酸化ガリウムパワーデバイスの課題と解決方法
　5.1 熱伝導率が低い
　5.2 p型ドーピング
　5.3 ゲート絶縁膜の信頼性

６．まとめ

特典

セミナー資料付、各講最後に質疑応答時間あり。

セミナー参加費
支払い方法

1. 銀行振込または現金書留にてお願いいたします。

2. 原則として開催日までにお願い致します。

3. 銀行振込の場合は、原則として領収証の発行は致しません。

4. 振り込み手数料はご負担ください。

お知らせ

●各種割引について
1. 同一テーマ1社2名以上同時申込の場合のみ、1名につき5,500円（税込）割引いたします。
2. 大学（教員、学生）、公的機関、医療機関の方は、「アカデミック価格」33,000円/1名（税込）でご参加いただけます。（2名同時申込割引は適用されません）
割引適用の場合は、お申し込み後、技術情報協会より確認のご連絡を差し上げます。

●Live配信セミナーの受講について
・ Zoom公式サイトで視聴環境を確認の上、お申し込みください。
・開催日が近くなりましたら、視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。
・セミナー配布資料は印刷物を郵送いたします。
・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。
・ Zoomのグループにパスワードを設定しています。部外者の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。