リソグラフィ技術の開発動向とレジスト材料への要求特性、トラブル対策【Live配信セミナー】

株式会社　技術情報協会遠藤政孝氏 55,000円

★最新のロードマップからリソグラフィ技術の最新動向、方向性を解説
　そこからレジスト材料に求められる特性や実際に発生する問題点を洗い出す！

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

・リソグラフィの最先端技術
・レジスト材料の最先端技術と要求特性
・レジスト材料のトラブル対策
・リソグラフィの課題と対策
・リソグラフィ、レジストの開発動向
・レジストのビジネス動向

会場

講師

プログラム

特典

お知らせ

開催日時

2023/06/09 (金) 10:30～ 16:30

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申込み期間

～ 2023/06/08

主催会社

株式会社　技術情報協会

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定員

30名

受講料

55,000円 (税込／各種割引については下段「お知らせ」欄をご参照ください）

開講場所

ZOOMを利用したLive配信
※会場での講義は行いません　

講師

遠藤政孝氏: 大阪大学　産業科学研究所　招聘教授

カリキュラム、
プログラム

メモリー、マイクロプロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。リソグラフィは現在先端の量産で用いられているダブル/マルチパターニングに加えて、待ち望まれていたEUVが用いられはじめている。レジストはこのようなリソグラフィの変革に対応して進展し続けている。
本講演では、最新のロードマップを紹介し、EUVを中心としたリソグラフィの最先端技術、開発動向、レジスト材料への要求特性について解説する。量産工程で実際に起こるレジスト材料のトラブルについて、その対策の詳細を述べる。さらにリソグラフィの技術展望、レジストの市場動向についてまとめる。

１．ロードマップ
　1.1 リソグラフィ、レジストへの要求特性
　1.2 微細化に対応するリソグラフィ技術の選択肢

２．リソグラフィの最先端技術、開発動向とレジスト材料への要求特性
　2.1 EUVリソグラフィ
　　2.1.1 EUVリソグラフィの現状と課題・対策
　　2.1.2 EUVリソグラフィの開発動向
　　2.1.3 EUVレジストの要求特性と設計指針
　　2.1.4 EUVレジストの開発動向
　　2.1.5 EUVメタルレジストの特徴・性能と開発動向
　2.2 ダブル/マルチパターニング
　　2.2.1 リソ－エッチ（LE）プロセス
　　2.2.2 セルフアラインド（SA）プロセス
　2.3 自己組織化（DSA）リソグラフィ
　　2.3.1 グラフォエピタキシー
　　2.3.2 ケミカルエピタキシー
　2.4 ナノインプリントリソグラフィ

３．レジスト材料のトラブル対策
　3.1 レジストパターン形成不良への対応
　　3.1.1 パターン倒れ
　　3.1.2 パターン密着性不良
　　3.1.3 パターン形状不良
　　3.1.4 チップ内のパターン均一性不良
　3.2 化学増幅型レジストのトラブル対策
　　3.2.1 レジスト材料の安定性
　　3.2.2 パターン形成時の基板からの影響
　　3.2.3 パターン形成時の大気からの影響
　3.3 ArF液浸リソグラフィ用レジストのトラブル対策

４．リソグラフィの技術展望

５．レジストの市場動向

特典

セミナー資料付、質疑応答時間あり。

セミナー参加費
支払い方法

1. 銀行振込または現金書留にてお願いいたします。

2. 原則として開催日までにお願い致します。

3. 銀行振込の場合は、原則として領収証の発行は致しません。

4. 振り込み手数料はご負担ください。

お知らせ

●各種割引について
1. 同一テーマ1社2名以上同時申込の場合のみ、1名につき5,500円（税込）割引いたします。
2. 大学（教員、学生）、公的機関、医療機関の方は、アカデミック価格33,000円/1名（税込）でご参加できます。（2名同時申込割引は適用されません）
割引適用の場合は、お申し込み後、弊社より確認のご連絡を差し上げます。

●Live配信セミナーの受講について
・ Zoom公式サイトで視聴環境を確認の上、お申し込みください。
・開催日前に、視聴用URLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。
・セミナー配布資料は郵送いたします。お申込みが直前の場合、資料の到着が間に合わないことがあります。
・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。
・ Zoomのグループにパスワードを設定しています。部外者の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。