半導体製造に向けた高純度ガスの精製、分析技術

株式会社　技術情報協会足立貴義氏 &nbs... 60,500円

★ 水素、アンモニア、希ガス、CO2の精製・回収！　ガス中微量水分の分析！

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講師

プログラム

特典

お知らせ

開催日時

2024/06/18 (火) 10:30～ 16:15 （受付 10:00 ～ )

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申込み期間

～ 2024/06/17

主催会社

株式会社　技術情報協会

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定員

30名

受講料

60,500円 (税込／各種割引については下段「お知らせ」欄をご参照ください）

開講場所

Zoomを利用したLive配信
※会場での講義は行いません　　

講師

足立貴義氏: 【専門】ガス分離精製

堀彰宏氏

阿部恒氏: 【専門】湿度標準

カリキュラム、
プログラム

【10:30-12:00】
１．半導体製造に向けた高純度ガスの精製技術
大陽日酸(株)　足立貴義氏
　
【習得できる知識】
・半導体向け高純度ガス用の精製装置のラインナップと精製方式
・半導体向け精製技術の開発内容

１．大陽日酸
　1.1 大陽日酸について
　1.2 大陽日酸のエレクトロニクス事業
２．精製装置
　2.1 高純度不活性ガス精製装置
　2.2 高純度不活性ガス精製装置　CH4除去タイプ
　2.3 高純度酸素ガス精製装置
　2.4 高純度水素ガス精製装置
　2.5 高純度水素ガス精製装置（ゲッター式）
　2.6 高純度水素ガス精製装置（低温式）
　2.7 高純度希ガス精製装置（ゲッター式）
　2.8 高純度アンモニアガス精製装置
　2.9 高純度CO2精製装置
　2.10 高純度Air精製装置
　2.11ラインピュリファイヤー
３．高純度ガス精製装置モデルチェンジ
　3.1 Puremate-1000 series
　3.2 Puremate-1400 series
　3.3 まとめ
４．高純度精製技術の開発
　4.1 新規吸着剤の開発
　4.2 高流速精製技術の開発
　4.3 まとめ

【13:00-14:30】
２．MOFを用いたガス精製装置の特徴とその応用
SyncMOF(株)　堀彰宏氏
　
１．自己集積型ナノポーラス材料・MOF
２．高機能ナノポーラス材料の開発を目的とした最先端物性測定技術
　2.1 放射光を用いたMOFおよび吸着ガス分子の可視化技術
　2.2 高機能MOF材料の設計
３．MOFの応用
　3.1 CO2ガスの濃縮(DAC技術から工業排ガス回収技術)
　3.2 アンモニア回収技術、希ガス回収技術

【14:45-16:15】
３．半導体製造に用いられる高純度ガス中の微量水分分析
(国研)産業技術総合研究所　阿部恒氏
　
【習得できる知識】
微量水分分析の基礎、微量水分分析の注意点、信頼性の高い微量水分分析法

【講座の趣旨】
高純度ガス中の残留水分の微量分析は他成分の微量分析に比べて困難です。なぜ難しいのか、どのようにすれば信頼性の高い分析結果が得られるのかについて、できるだけ分かりやすく解説します。

１．微量水分の基礎
　1.1 微量水分とは
　1.2 微量水分分析の必要性
　1.3 微量水分分析の難しさ
　1.4 微量水分分析の問題点
２．微量水分の分析器
　2.1 鏡面冷却式露点計
　2.2 静電容量式センサー
　2.3 五酸化リン式水分計
　2.4 水晶発振式水分計
　2.5 APIMS
　2.6 TDLAS
　2.7 CRDS
　2.8 検量線の要否
３．微量水分の計測標準
　3.1 計測標準とは
　3.2 測定の不確かさ
　3.3 微量水分標準
４．計測結果の信頼性
　4.1 各種分析器の性能評価例
　4.2 信頼性の高い微量水分分析のために

特典

セミナー資料付
各講で最後に質疑応答時間あり。

セミナー参加費
支払い方法

1. 銀行振込または現金書留にてお願いいたします。

2. 原則として開催日までにお願い致します。

3. 銀行振込の場合は、原則として領収証の発行は致しません。

4. 振り込み手数料はご負担ください。

お知らせ

●各種割引について
1. 同一テーマ1社2名以上同時申込の場合のみ、1名につき5,500円（税込）割引いたします。
2. 大学（教員、学生）、公的機関、医療機関の方は、「アカデミック価格」33,000円/1名（税込）でご参加いただけます。（2名同時申込割引は適用されません）

割引適用の場合は、お申し込み後、技術情報協会より確認のご連絡を差し上げます。

※定員になり次第、お申込みは締切となります。
※申し込み人数が開催人数に満たない場合など，状況により中止させて頂く事が御座います。

●Live配信セミナーの受講について
・セミナー配布資料は印刷物を郵送いたします。
・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。