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開催日 2019/12/18 (水) 開催地 東京都

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塗布膜乾燥プロセスの解明・考察・本質の理解と 塗布膜の設計・欠陥対策への応用

主催 サイエンス&テクノロジー株式会社 講師 鏡 裕行 氏 受講料 49,500円   

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~乾燥機構の解明に必要な基礎知識と考え方~
~乾燥後に起こる欠陥の改善、ムラ・凹凸等の膜厚分布の制御~
~塗布された高分子溶液・溶媒の蒸発・揮発過程~

 本講演では、塗布膜の乾燥工程の機構を解明するにあたり必要となる物理学的知識、考え方の講義から始めて、それらを基にした上記工程のモデル化の実際、およびその数値シミュレーションの実際を概説し、塗布膜乾燥機構の本質を理解する。また、これに基づいて様々な塗布膜不具合の原因を物理学的に考察する。そして、膜乾燥における様々な欠陥、問題の克服と、膜厚分布の制御の方法について考察する。この講演が、今後参加者が実際に扱う系の乾燥過程の理解および乾燥後の欠陥対策のヒントとなることを目指す。

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

・塗布膜乾燥工程に関わる様々な物理学の知識と、物理学的考え方の基礎を習得できる。
・考えている系を数理的にモデル化していく方法を習得できる。
・乾燥後の膜厚、膜質分布に影響を及ぼす要因が理解でき、これを用いて様々な塗布膜の設計の提案、乾燥後の欠陥の改善、膜厚分布の制御の方法を提案できる。

セミナーの対象者はこんな方です

本テーマに興味のある方なら、どなたでも受講可能です。
開催日時 2019/12/18 (水)     10:30~ 16:30     (受付  10:00 ~ )

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申込み期間  ~ 2019/12/17
主催会社 サイエンス&テクノロジー株式会社
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定員 30名
受講料 49,500円
開講場所 ・会場名: 東京・大田区平和島 東京流通センター 2F 第4会議室
・住所: 〒143-0006 東京都大田区平和島6-1-1 
・交通アクセス: 「流通センター駅」すぐ
講師
鏡 裕行 氏 講師写真

鏡 裕行 氏

藤田医科大学 医学部 数学 准教授 

カリキュラム、
プログラム
1.塗布膜の乾燥工程の概要と課題
 1.1 乾燥させるとは?
  1.1.1 乾燥が進行する原理
  1.1.2 乾燥を進行させる方法
 1.2 レジスト塗布工程の例
  1.2.1 塗布方法
  1.2.2 乾燥方法
 1.3 乾燥後に求められるもの

2.液体の理論
 2.1 液体の一般理論
  2.1.1 液体中の分子に働く力
  2.1.2 液体を固体から乱れた状態としてとらえる
  2.1.3 液体を気体論的に考える
 2.2 液体論からみた蒸発の理論
 2.3 液体の凝集力の起源
 2.4 液体の理論のモデルへの導入のポイント

3.溶液の理論
 3.1 溶液の一般論
  3.1.1 溶液とは
  3.1.2 平衡状態の溶液の化学ポテンシャル
  3.1.3 非平衡状態の溶液の化学ポテンシャル
 3.2 高分子溶液の特徴
 3.3 溶液の理論のモデルへの導入のポイント

4.表面・界面の理論
 4.1 表面張力
 4.2 界面のぬれ
 4.3 界面のゆらぎ
 4.4 表面張力波と緩和時間
 4.5 表面・界面の理論のモデルへの導入のポイント

5.溶媒の蒸発速度の理論
 5.1 蒸発速度の式

6.溶液中の溶質・溶媒の動力学
 6.1 拡散方程式
 6,2 流体方程式
 6.3 揮発中という非平衡状態での動力学
  6.3.1 化学ポテンシャルからの拡散係数の導出(平衡系)
  6.3,2 化学ポテンシャルからの拡散係数の導出(非平衡系)

7.平坦な基板上に塗布された高分子溶液の揮発過程
 7.1 レイリー数とマランゴニ数
 7.2 最もシンプルなモデル化
 7.3 シンプルなモデルの改良
 7.4 精密なモデル
 7.5 数値シミュレーション結果の例
  7.5.1 膜厚分布の時間発展
  7.5.2 乾燥後の膜厚分布の乾燥速度依存性
  7.5.3 乾燥後の膜厚分布の塗布膜厚依存性
  7.5.4 乾燥後の膜厚分布の濃度の拡散係数依存性
  7.5.5 乾燥後の膜厚分布の溶媒の拡散係数依存性
  7.5.6 乾燥後の膜厚分布の固有粘性率依存性
  7.5.7 乾燥後の膜厚分布の蒸発潜熱依存性
  7.5.8 乾燥後の膜厚分布に対する高分子溶液特有の蒸気圧変化の効果
  7.5.9 液膜の表層と内部の乾燥の時間発展の違い

8.シミュレーション技術
 8.1 拡散方程式の解法
 8.2 流体方程式の解法

9.実験によるモデルの検証

10.モデルの発展
 10.1 3次元モデル
 10.2 溶質の種類が複数ある場合
 10.3 溶媒の種類が複数ある場合
 10.4 具体的な現象へのモデルの応用(様々なムラ等)
 10.5 マランゴニ効果の考慮

11.膜厚制御の実際、今後
 11.1 様々なムラ等の制御の例
 11.2 端部の凹凸の制御の例1:温度管理
 11.3 端部の凹凸の制御の例2:気圧管理
 11.4 端部の凹凸の制御の例3:濃度管理

12.様々な形状への応用
 12.1 基板の側面への塗布の影響
 12.2 球状体への塗布膜の場合

13.塗布膜の設計における留意点

  □質疑応答□
特典 セミナー資料付き。

食事付 食事付 飲み物付き 飲み物付き 
セミナー参加費
支払い方法
○ お支払方法

(1)銀行振込、または(2)当日会場での現金払い

 ※原則として受講料のご入金は、開催日までにお願いいたします。

 ※原則として銀行振込の場合、領収証の発行はいたしません。

 ※銀行振込の場合、手数料はご負担ください。



○ キャンセルについて

お申込み後、ご都合が悪くなった場合は代理の方のご出席も可能です。

やむなくキャンセルされる場合は、下記のキャンセル規定で承ります。

◇キャンセル規定◇

開催日から逆算(営業日:土日・祝祭日等を除く)いたしまして、

・開催7日前以
お知らせ ※各種割引特典がございます。

【2名同時申込みで1名分無料(1名あたり定価半額の24,750円)】
  ※2名様ともS&T会員登録をしていただいた場合に限ります。
  ※同一法人内による2名同時申込みのみ適用いたします。
  ※3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で受講できます。
  ※受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  ※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    (申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
  ※他の割引は併用できません。


【アカデミー割引】
学生・教員および医療従事者は、1名につき11,000円/日
 (※他の割引との併用はできません。)

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