ビジネスに特化したクオリティの高いセミナーや研修が見つかる!
会員登録をしてセミナーに申し込むとさまざまな特典が受けられます
     
トップページ  セミナー検索  技術・研究  エレクトロニクス  <半導体加工技術での高機能薄膜の形成へ> ALD(原子層堆積法)技術の基礎・入門と応用展開

開催日 2023/06/28 (水) 開催地 WEB配信型ライブセミナー

今注目のALD(原子層堆積)とALE(原子層エッチング)を基礎から詳しく解説

<半導体加工技術での高機能薄膜の形成へ> ALD(原子層堆積法)技術の基礎・入門と応用展開

主催 サイエンス&テクノロジー株式会社 講師 浦岡 行治 氏 受講料 39,600円   

このセミナーをチェックリストに追加する  セミナーの受付は終了しました
★ 堆積やエッチングの原理や材料を学びます。
★ ALDでは、LSI、薄膜トランジスタ、パワーデバイス、太陽電池に応用した時の特長や課題も解説!

◇◆ZoomによるLive配信 アーカイブ(見逃し)配信付き◇◆
【アーカイブの視聴期間】2023年6月29日(木)~7月5日(水)まで
このセミナーはアーカイブ付きです。セミナー終了後も繰り返しの視聴学習が可能です。

※セミナー視聴ページは、S&Tマイページからお願いいたします。
(S&T会員登録(主催会社のWeb会員(無料))が必須ですので弊社で登録いたします。)

【配布資料】
PDFデータ(印刷可/編集不可)
※セミナー開催日の2日前を目安にS&Tマイページからダウンロード可能になります。

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

・薄膜形成・加工の物理・評価技術
・半導体プロセス技術
・半導体デバイス技術
・信頼性評価技術
開催日時 2023/06/28 (水)     10:00~ 16:00     (受付  09:50 ~ )

他の開催日・開催場所(同じ都道府県内)で探す    
申込み期間  ~ 2023/06/27
主催会社 サイエンス&テクノロジー株式会社
この主催会社の他の最新セミナーを見る    
定員 30名
受講料 39,600円 (主催会社からのE-Mail定期配信をご希望頂くと更に割引となります)
開講場所 ・会場名: 【ZoomによるLive配信セミナー】アーカイブ(見逃し)配信付き
・住所:  ※会社・自宅にいながら受講可能です※ 
・交通アクセス: 
講師
浦岡 行治 氏 講師写真

浦岡 行治 氏

奈良先端科学技術大学院大学 教授

<略歴>
1985年 松下電器産業(パナソニック) 半導体研究センター
1994年 松下電器産業(パナソニック)液晶開発センター
1999年 奈良先端科学技術大学院大学 准教授
2009年 奈良先端科学技術大学院大学 教授
2023年 奈良先端科学技術大学院大学 マテリアル研究プラットフォームセンター長
応用物理学会フェロー

カリキュラム、
プログラム
【セミナー趣旨】
 AIや5GなどIoT技術の進歩を支えている半導体加工技術において、高機能な薄膜を形成することは、非常に重要である。
 薄膜形成技術については、古くからいろいろな手法が開発され、LSI、ディスプレイ、太陽電池などのエレクトロニクスの分野で広く活用されてきた。
 本セミナーでは、近年、特に注目を浴びているALD(原子層堆積)技術やALE(原子層エッチング)技術について、その基礎と応用について概説する。特に、堆積やエッチングの原理や材料について詳しく紹介する。また、ALDについては、LSI、薄膜トランジスタ、パワーデバイス、太陽電池に応用した時の特長や課題についても紹介する。

【講演内容】
1.薄膜形成技術
 1.1 薄膜作製/加工の基礎
 1.2 薄膜の評価手法
  1.2.1 電気的評価
  1.2.2 化学的分析手法
  1.2.3 光学的評価手法

2.ALD技術の基礎
 2.1 ALD技術の原理
 2.2 ALD薄膜の特長
 2.3 ALD技術の歴史
 2.4 ALD装置の仕組み
 2.5 ALD技術の材料

3.ALD技術の応用
 3.1 パワーデバイスへの応用
 3.2 酸化物薄膜トランジスへの応用
 3.3 MOS LSIへの応用
 3.4 太陽電池への応用

4.ALE技術の基礎
 4.1 ALEの歴史
 4.2 ALEの原理

5.ALE技術の応用事例
 5.1 シリコン、窒化ガリウム等半導体材料への応用
 5.2 シリコン酸化膜、窒化膜等絶縁膜への応用
 5.3 Co等金属膜への応用

6.ALD/ALE技術の課題と展望

  □質疑応答□
特典 アーカイブ(見逃し)配信付き
※アーカイブは原則として編集は行いません
※視聴準備が整い次第、担当から視聴開始のメールご連絡をいたします。
 (開催終了後にマイページでご案内するZoomの録画視聴用リンクからご視聴いただきます)

セミナー参加費
支払い方法
 ○ お支払方法

オンラインセミナーは銀行振込みのみです。

会場受講の場合に限り、会場で現金またはクレジットカードでのお支払いが可能です。

会場でクレジットカード支払いの場合は、通信欄に「会場でカード支払い」をご入力ください。



 ○ キャンセルについて

お申込み後、ご都合が悪くなった場合は代理の方のご受講も可能です。

やむなくキャンセルされる場合は、下記のキャンセル規定にて承ります。

その他、申込み要領は下記をご参照ください。

https://www.science-t.com/sem
お知らせ ※通信欄にS&Tからの「E-mail案内希望:する/しない」をご入力下さい

【テレワーク応援キャンペーン】
 受講料(税込):39,600円/E-Mail案内登録価格:37,620円
 ※1名でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。

【2名同時申込みで1名分無料】
 1名あたり定価”49,500円の半額”24,750円(税込)
 ※2名ともS&TのE-mail案内登録が必須で、同一法人内に限ります。
 ※3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で受講できます。

【アカデミー割引】
※学生・教員および医療従事者は、1名につき11,000円

■■■お申込み時の注意点■■■
通信欄に以下をご入力下さい。

①「E-mail案内希望:する/しない」
 ※割引適用にはE-mail案内登録が必須となります※

②2名様以上でお申し込みの場合
 ・氏名
 ・部署
 ・メールアドレス
 ・「E-mail案内希望:する/しない」
 ※割引適用にはE-mail案内登録が必須となります※

お申込みと同時に、セミナーの視聴、テキスト配布等のため
S&T(主催会社のWeb)会員登録をさせていただきます。
(E-mail案内登録とは異なります)
  • このセミナーについて質問する
  • このセミナーに申し込み

他にもこんなセミナーがあります

掲載の記事・写真・図表などの無断転載を禁止します。
著作権は株式会社ファシオまたはその情報提供者に属します。