水の動きで読み解く半導体洗浄のポイント【LIVE配信】

株式会社R&D支援センター羽深等氏 55,000円

水の動きを軸に半導体洗浄を読み解き、基礎現象の理解から困った時の対策までを1日で説明
大口径ウエハの枚葉式洗浄、バッチ式洗浄の流れを可視化観察動画と数値シミュレーション事例で具体的に学ぶ

水の動きを軸に半導体洗浄を読み解き、基礎現象の理解から困った時の対策までポイントを1日で説明します。

半導体にとって「清浄・きれい」とは何かを意識し、水の流れを動画で眺めると、洗浄とは何をどうする操作なのかが直感で分かります。ここでは、さまざまな薬液の役割を紹介し、乾燥の要点にも触れた後、身近な流れの動画を見て感覚をつかみます。次に、大口径ウエハの枚葉式洗浄、バッチ式洗浄の流れを可視化観察動画と数値シミュレーション事例で具体的に理解します。

超音波や手動操作で生まれる流れについても、流れと気泡の動画を見るとイメージが明確になります。今後、極めて微細なパターンを洗浄する場合に見落としがちな事についても示して行きます。

最後には、足元をすくわれた時の視点と対策のポイントを整理します。

「洗いたい場所に必要な量だけ薬液を届けること」を意識して受講すると、特に効果があります。

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

習得できる知識

以下のことが分かります。
・先端材料の洗浄方法を構成する要素
・半導体にとって「清浄」とは何か
・キレイにするための表面の取扱い方
・洗浄の水流と気泡の作り方、使い方と整え方
・微細パターン洗浄条件の盲点

セミナーの対象者はこんな方です

洗浄とは何かを学びたい初心者、洗浄に関わる要点をあらためて整理したい技術者、洗浄技術を初めて指導・管理することになった管理者、将来の大口径・微細パターン洗浄の問題点を見抜きたい技術者。

必要な予備知識

特に予備知識は必要ありません。
身近な流れ（蛇口から流れ落ちた水、川や雲の動きなど）を意識して眺めていただくと、役に立ちます。
「洗いたい場所に必要な量だけ薬液を届けること」を意識して下さい。

会場

講師

プログラム

特典

お知らせ

開催日時

2026/07/23 (木) 10:30～ 16:30

他の開催日・開催場所（同じ都道府県内）で探す

申込み期間

～ 2026/07/22

主催会社

株式会社R&D支援センター

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定員

30名

受講料

55,000円

開講場所

・会場名：　本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです
・住所：　※会社やご自宅でご受講下さい。　
・交通アクセス：　会場での参加はございません。

講師

羽深等氏: 反応装置工学ラボラトリ　代表　博士（工学）

横浜国立大学名誉教授、化学工学会シニア会員、化学工学会エレクトロニクス部会長、応用物理学会会員、日本結晶成長学会会員、米国化学会会員、米国電気化学会名誉会員、エレクトロニクス実装学会会員、空気清浄協会会員、よこはま高度実装技術コンソーシアム理事長

カリキュラム、
プログラム

プログラム

１．洗う理由：汚れは何？いつ、どこからなぜやって来る？

２．洗浄の４要素（温度、時間、化学、力学）：力学が最も大切である理由

３．半導体の洗浄に特有のこと（洗浄で実現したい状態）

４．先端技術情報（半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会）

５．半導体洗浄の基礎現象（薬液と流れの効果）
　5-1　化学で汚れを動かす操作：薬液の働き（付着・脱離・引き剥がす）と乾燥
　5-2　力学で汚れを動かす操作：流れ、熱、拡散
　5-3　装置内流れの種類（完全混合、押出流れ、境界層）
　5-4　流れの可視化観察（「流れ」と「拡散」の感覚を動画で）

６．洗浄機内の流れと反応
　6-1　枚葉式洗浄機
　　　（１）水の流れの実例（実機の観察動画とシミュレーションの例）
　　　（２）ノズルのスイングを続ける工学的理由
　　　（３）化学反応の例（表面反応もここまで分かる）
　6-2　バッチ式洗浄機
　　　（１）水の流れの実例（実機の観察動画とシミュレーションの例）
　　　（２）水流を低コストで最適化した事例（入口と出口を変える）
　　　（３）上下揺動で流れを巻き込む
　6-3　超音波の働き
　　　（１）水と気泡の動きの実例（実機の観察動画）

７．洗浄結果の評価方法

８．狭い空間の洗浄（盲点と工夫）

９．まとめ：困った時の視点と対策（境界層を壊そう！）

１０．まとめ：困らないように（地球環境は壊さない！）

【質疑応答】

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】

１．Zoomを使用されたことがない方は、ミーティング用Zoomクライアントをダウンロードして下さい。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。

２．セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。セミナー開始直前のトラブルについては対応いたしかねますのでご了承下さい。

３．開催日の数日前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加下さい。

セミナー参加費
支払い方法

銀行振込か会場にて現金でお支払いください。

銀行振込みの場合、原則的に領収書は発行いたしません。

領収書をご希望の場合は、当日会場で受講料をお支払いください。

クレジットカードはご利用いただけません。

お知らせ

・資料付

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。

・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、
55,000円（1名当たり 27,500円）（税込）です。

・キャンセルについて
原則としてキャンセルはお受けいたしかねます。
ご都合により出席できなくなった場合は代理の方がご出席ください。

代理の方が見つけられない場合、セミナー開催日より、
営業日で8日前までに限りキャンセルを承ります。
8日を過ぎますと欠席扱いとし、受講料の全額をお支払いいただきます。
ご欠席の場合は後日、セミナーで使用したテキストをお送りいたします。