ドライエッチングのメカニズムと最先端技術【LIVE配信】

株式会社R&D支援センター大竹浩人氏 49,500円

★エッチング技術の基礎・メカニズムから先端エッチング技術まで幅広く解説！
★エッチングにおける課題、課題解決へのアプローチを理解できる！

台湾TSMCの熊本工場、北海道のラピダスの設立など半導体製造メーカの日本進出が進んできていますが、2ナノメートルといった超微細な構造を加工するには、エッチング技術が欠かせません。
刃物や研磨では得られない超微細加工を実現するためには原子・分子・イオンを活用したエッチング技術が必要であり、デバイス寸法の縮小に伴い、日進月歩の技術革新が行われています。

本セミナーではエッチング技術の基礎・メカニズムの説明からスタートし、現在IntelやTSMC, Samsung, SK Hynixなど最新半導体デバイスを製造しているメーカが使用している先端エッチング技術までを紹介します。
エッチング技術にも多くの課題があり、そのブレークスルー技術についてもご紹介いたします。

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

習得できる知識

・半導体製造におけるプラズマエッチングについて位置づけと原理が理解できる。
・異方性エッチングと等方性エッチングそれぞれの意義とメカニズム、装置構成を理解できる。
・エッチングにおける課題、課題解決へのアプローチを理解できる。
・最新デバイスにおけるエッチング技術を理解できる。

セミナーの対象者はこんな方です

・半導体デバイス開発、半導体製造装置開発に携わって5年以内程度の技術者の方
・半導体デバイス・半導体製造装置の営業職の方
・半導体製造装置の製造技術、量産技術の技術者の方

必要な予備知識

特に予備知識は必要ありません。基礎から解説いたします。

会場

講師

プログラム

特典

お知らせ

開催日時

2024/05/29 (水) 13:00～ 16:00

他の開催日・開催場所（同じ都道府県内）で探す

申込み期間

～ 2024/05/28

主催会社

株式会社R&D支援センター

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定員

30名

受講料

49,500円

開講場所

本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです
【WEB限定セミナー】 ※会社やご自宅でご受講下さい。　
ご自宅や職場のノートPCで受講できます。

講師

大竹浩人氏: （株）日立ハイテク
プロセス企画部　部長

【ご略歴・ご経歴】
博士（工学）東北大学
IEEE Senior member
米国滞在総計 6年間
・プラズマエッチング基礎研究・配線インテグレーション研究
・准教授（プラズマプロセスin-situモニタリング研究）
・表面波プラズマを使ったエッチング技術の開発、ロジックデバイス大手へのエッチングプロセス提供、量産課題解決
・新規等方性エッチング装置の開発、メモリ・ロジックデバイス大手への等方性エッチングプロセス提供

カリキュラム、
プログラム

プログラム

1.エッチングの基礎
　1-1 微細加工
　1-2 プラズマの生成とエッチング

2.異方性エッチング
　2-1 異方性エッチングのメカニズム
　2-2 異方性エッチング向け製造装置

3.等方性エッチング
　3-1 等方性エッチングのニーズ
　3-2 等方性エッチングへのアプローチ
　3-3 等方性エッチングの例

4.エッチングの高機能化- パルスプラズマ
　4-1 ソースパルス
　4-2 バイアスパルス
　4-3 シンクロナイズドパルス

5.エッチングの課題
　5-1 形状異常
　5-2 プラズマ誘起ダメージ
　5-3 量産における課題

6.最新エッチング技術
　6-1 ロジックデバイス向けエッチング技術
　6-2 メモリデバイス向けエッチング技術

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】

１．Zoomを使用されたことがない方は、ミーティング用Zoomクライアントをダウンロードして下さい。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。

２．セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。セミナー開始直前のトラブルについては対応いたしかねますのでご了承下さい。

３．開催日の数日前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加下さい。

セミナー参加費
支払い方法

銀行振込か会場にて現金でお支払いください。

銀行振込みの場合、原則的に領収書は発行いたしません。

領収書をご希望の場合は、当日会場で受講料をお支払いください。

クレジットカードはご利用いただけません。

お知らせ

・資料有

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。

・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,500円（2人目無料）です。

・キャンセルについて
原則としてキャンセルはお受けいたしかねます。
ご都合により出席できなくなった場合は代理の方がご出席ください。

代理の方が見つけられない場合、セミナー開催日より、
営業日で8日前までに限りキャンセルを承ります。
8日を過ぎますと欠席扱いとし、受講料の全額をお支払いいただきます。
ご欠席の場合は後日、セミナーで使用したテキストをお送りいたします。