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開催日 2024/06/21 (金) 他1回/計2回 開催地 WEB配信型ライブセミナー

【Live配信セミナー】【アーカイブ配信セミナー】

EUVを中心としたリソグラフィ技術の最新動向とレジスト材料への要求特性

主催 株式会社 技術情報協会 講師 遠藤 政孝 氏 受講料 55,000円   

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★最先端リソグラフィ技術の開発状況とレジスト材料への要求を探る
 注目される「メタルレジスト」「メタルドライレジスト」ついても詳解!

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

・リソグラフィの最先端技術と開発動向
・レジスト材料の最先端技術と要求特性
・EUVリソグラフィの課題・対策
・EUVレジストの要求特性と課題・対策
・レジスト材料のビジネス動向
開催日時 2024/06/21 (金)     10:30~ 16:30    
2024/07/02 (火)     00:00~ 00:00    

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申込み期間  ~ 2024/07/01
主催会社 株式会社 技術情報協会
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定員 30名
受講料 55,000円 (税込/各種割引については下段「お知らせ」欄をご参照ください)
開講場所 ZOOMを利用したオンライン配信
【Live配信】2024年6月21日(金) 【アーカイブ(録画)配信】2024年7月2日まで受付(視聴期間:7月2日~7月12日まで)
※会場での講義は行いません
講師
遠藤 政孝 氏 講師写真

遠藤 政孝 氏

大阪大学 産業科学研究所 招聘教授

カリキュラム、
プログラム
メモリー、マイクロプロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。微細加工を支えるリソグラフィ技術は現在先端の量産工程でダブル/マルチパターニング、EUVが用いられている。レジスト材料はこのようなリソグラフィ技術の変革に対応して進展し続けている。
本講演では、最新のロードマップを紹介した後、リソグラフィの最先端技術、開発動向、レジスト材料への要求特性について解説する。この中でEUVリソグラフィ、EUVレジストについての詳細を述べる。注目されているEUVメタルレジスト、EUVメタルドライレジストプロセスについて詳しく解説する。さらにリソグラフィ技術の今後の展望、レジスト材料の市場動向についてまとめる。

1.ロードマップ
 1.1 リソグラフィ技術、レジスト材料への要求特性
 1.2微細化に対応するリソグラフィ技術の選択肢
 1.3最先端デバイスの動向

2.リソグラフィ技術の最新動向とレジスト材料への要求特性
 2.1 ArF液浸リソグラフィ/レジスト
 2.2ハードマスクプロセス
 2.3ダブル/マルチパターニング
  2.3.1リソ-エッチ(LE)プロセス
  2.2.2セルフアラインド(SA)プロセス
 2.4自己組織化(DSA)リソグラフィ
  2.4.1グラフォエピタキシー
  2.4.2ケミカルエピタキシー
 2.5ナノインプリントリソグラフィ
 2.6 EUVリソグラフィ
  2.6.1 EUVリソグラフィの現状と課題・対策
  2.6.2 EUVリソグラフィのトピックスと開発動向
  2.6.3 EUVレジストの要求特性と設計指針
  2.6.4 EUVレジストの課題・対策
  2.6.5 EUVレジストの開発動向
  2.6.6 EUVメタルレジストの特徴
  2.6.7 EUVメタルレジストの開発動向と性能
  2.6.8 EUVメタルドライレジストプロセスの特徴・性能と開発動向

3.リソグラフィ技術の今後の展望

4.レジスト材料の市場動向
特典 セミナー資料付

セミナー参加費
支払い方法
1. 銀行振込または現金書留にてお願いいたします。

2. 原則として開催日までにお願い致します。

3. 銀行振込の場合は、原則として領収証の発行は致しません。

4. 振り込み手数料はご負担ください。
お知らせ ●各種割引について
1. 同一テーマ1社2名以上同時申込の場合のみ、1名につき5,500円(税込)割引いたします。
2. 大学(教員、学生)、公的機関、医療機関の方は、「アカデミック価格」33,000円/1名(税込)でご参加いただけます。(2名同時申込割引は適用されません)

割引適用の場合は、お申し込み後、技術情報協会より確認のご連絡を差し上げます。

※申し込み人数が開催人数に満たない場合など,状況により中止させて頂く事が御座います。

●Live配信セミナーの受講について
・ セミナー配布資料は印刷物を郵送いたします。
・ 本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・ 本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。

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